Robot Phoenix Lobster200Z300S-T0X5-V Wafer Robot

Lobster series 200Z300S-T0X5-V wafer handling robot is a single-armed wafer transfer robot with advanced wafer handling equipment. It is a vaccum model with a rate payload of 0.5kg. It has extremely high accuracy, flexibility and safety.

รายละเอียดสินค้า

Features of Lobster200Z300S-T0X5-V Wafer Robot

  • Single-armed; payload is 0.5kg; 
  • 3-degrees-of-freedom; 
  • Repositioning accuracy reaches ±0.1mm; 
  • Cleanliness reaches ISO Class1.

Specification of Lobster200Z300S-T0X5-V Wafer Robot

ModelLobster200Z300S-T0X5-V
TypeOne-armed
Applied Specification~300
Rated Payload0.5KG
Degree of Freedom3
Range of MotionLifting Axis (Z)300mm
Rotating Axis (T)340deg
Stretching Axis (R)400mm
Maximum SpeedLifting Axis (Z)300mm/s
Rotating Axis (T)400deg/sec
Stretching Axis (R)700mm/s
Features1) Vacuum environment.
2) Robotic Arm Length: 200mm.
3) Direct drive, compact structure
4) Mapping Sensor to detect if wafers are there, if overlying or tilting.
5) Specifications can be customized according to requirements.
Re-positioning Accuracy±0.1mm
Leak Rate1*10E-6 Pa
CleanlinessISO Class1
InterfaceI/O interface4 configurable digital inputs;
4 configurable digital outputs;
8 general digital inputs;
8 general digital outputs;
(Re-extensible 8 digital inputs/outputs).
Ethernet1
USB2
RS232/RS4851
Communication ProtocolModbus-RTU/TCP、Socket
Arm Length (R)200mm
Vertical Stroke (Z)150mm
Machine Table Height (H)868mm
Actuator Length (L)Demand-based
Height from Table to Strokes Down Position (H)120mm


เว็บไซต์นี้มีการใช้งานคุกกี้ เพื่อเพิ่มประสิทธิภาพและประสบการณ์ที่ดีในการใช้งานเว็บไซต์ของท่าน ท่านสามารถอ่านรายละเอียดเพิ่มเติมได้ที่ นโยบายความเป็นส่วนตัว และ นโยบายคุกกี้
เปรียบเทียบสินค้า
0/4
ลบทั้งหมด
เปรียบเทียบ
Powered By MakeWebEasy Logo MakeWebEasy