Robot Phoenix Lobster200Z300S-T0X5-C Wafer Robot

Lobster series 200Z300S-T0X5 wafer handling robot is a single-armed wafer transfer robot with a rate payload of 0.5kg. It has extremely high accuracy, flexibility and safety.

หมวดหมู่ : Robot Phoenix , Wafer Handling Rebot

แบรนด์ :Robot Phoenix

รายละเอียดสินค้า

Features of Lobster200Z300S-T0X5-C Wafer Robot

Single-armed;
Payload is 0.5kg;
3-degrees-of-freedom;
Repositioning accuracy reaches ±0.1mm;
Cleanliness reaches Class100.

Specification of Lobster200Z300S-T0X5-C Wafer Robot

Model		Lobster200Z300S-T0X5-C
Type		One-armed
Applied Specification		~300
Rated Payload		0.5KG
Degree of Freedom		3
Range of Motion	Lifting Axis (Z)	300mm
	Rotating Axis (T)	340deg
	Stretching Axis (R)	400mm
Maximum Speed	Lifting Axis (Z)	400mm/s
	Rotating Axis (T)	260deg/sec
	Stretching Axis (R)	1700mm/s
Features		1) Cleanroom environment. 2) Robotic Arm Length: 200mm. 3) The whole axes adopt servo motors to meet the needs of highspeed handling. 4) Mapping Sensor to detect if wafers are there, if overlying or tilting. 5) Specifications can be customized according to requirements.
Re-positioning Accuracy		±0.1mm
Leak Rate		-
Cleanliness		Class 100
Interface	I/O interface	4 configurable digital inputs; 4 configurable digital outputs; 8 general digital inputs; 8 general digital outputs; (Re-extensible 8 digital inputs/outputs).
	Ethernet	1
	USB	2
	RS232/RS485	1
	Communication Protocol	Modbus-RTU/TCP、Socket
Arm Length (R)		200mm
Vertical Stroke (Z)		300mm
Machine Table Height (H)		620mm
Actuator Length (L)		Demand-based
Height from Table to Strokes Down Position (H)		128mm

Robot Wafer Handling Robot Lobster200Z300S-T0X5-C Wafer Robot Lobster200Z300S-T0X5-C Wafer Robot Robot Phoneix Robot Phoenix Lobster200Z300S-T0X5-C Wafer Robot Robot Phoenix Wafer Robot

สินค้าที่เกี่ยวข้อง

Robot Phoenix BAT2000M-S15 Delta Robot

Robot Phoenix BAT1600-S6 Delta Robot

Robot Phoenix BAT1300-S6 Delta Robot

Robot Phoenix BAT1300B-S50 Heavy Load Delta Robot

เว็บไซต์นี้มีการใช้งานคุกกี้ เพื่อเพิ่มประสิทธิภาพและประสบการณ์ที่ดีในการใช้งานเว็บไซต์ของท่าน ท่านสามารถอ่านรายละเอียดเพิ่มเติมได้ที่ นโยบายความเป็นส่วนตัว และ นโยบายคุกกี้

เปรียบเทียบสินค้า

0/4

ลบทั้งหมด

เปรียบเทียบ